Requisitos de seguridad para talleres libres de polvo
1. Instrucciones para la sala limpia
1. Antes de ingresar a la sala limpia, debe informar al gerente y aprobar una capacitación básica.
2. No se permite fumar, comer (beber) ni desechos extraños (como periódicos, revistas, lápices, etc.) en la sala limpia. Está estrictamente prohibido correr y charlar en las reuniones.
3. Antes de ingresar a la sala limpia, debe quitarse los zapatos en el lugar designado, guardar los zapatos en el zapatero, guardar la ropa exterior en el armario y guardar los artículos personales en el gabinete privado. . No se pueden colocar alimentos en el gabinete.
4. Al ingresar a la sala limpia, primero debe usar la mascarilla, la gorra antipolvo, la ropa y los cubrezapatos antipolvo en el vestidor de acuerdo con las normas y procedimientos, luego lavar el polvo. en la sala de limpieza de aire y pise la alfombra para quitar el polvo (en el piso de la sala de polvo) antes de entrar.
5. Al usar mascarilla, ésta debe colocarse sobre la nariz, cubriendo la boca y las fosas nasales para evitar contaminar el chip al respirar.
6.Antes de ponerse ropa y sombreros libres de polvo, debe ordenar su ropa y cabello para evitar sentirse incómodo después de ponerse ropa y sombreros libres de polvo.
7. Después de ordenar, use primero un sombrero libre de polvo. Los principios para usar un sombrero libre de polvo son:
(1) El cabello debe estar completamente cubierto por el sombrero. y no debe estar expuesto.
(2) El dobladillo de la gorra antipolvo debe extenderse uniformemente sobre los hombros. Después de ponerse la ropa de trabajo, no se saldrá y expondrá los hombros y el cuello.
8. Después de usar correctamente el sombrero antipolvo, póngase la ropa antipolvo. El tamaño de la ropa antipolvo debe ser el adecuado para evitar el riesgo de que las perneras o las mangas de los pantalones sean demasiado cortas. exponiendo la piel, preste atención al vestirse. El dobladillo del sombrero debe mantenerse plano y la ropa libre de polvo no se puede usar al revés.
9. Póngase cubrezapatos después de usar ropa libre de polvo, póngalos y aplánelos para cubrir las perneras del pantalón.
10. Cuando use guantes, evite tocar las palmas y las yemas de los guantes con las manos desnudas (para evitar la contaminación por iones de sodio, coloque las muñecas de los guantes dentro de las mangas para evitar). Aislar fuentes de contaminación.
11. Solo después de usar ropa libre de polvo, lavar el polvo y pisar la manta quitapolvo se puede ingresar a la sala limpia.
12. Independientemente de entrar o salir de la sala limpia, debes quitarte la ropa limpia en el vestuario según sea necesario. No puedes hacerlo en otras áreas, especialmente al caminar en la sala limpia.
13. La ropa libre de polvo, cubrezapatos, etc. deben limpiarse periódicamente y sustituirse por otros nuevos si están dañados o desconectados.
14. Al quitarse la ropa libre de polvo, el orden es inverso al de ponersela.
15. La ropa libre de polvo que se haya quitado debe colgarse y colocarse en el armario superior del vestuario; las fundas para zapatos deben colocarse debajo de la ropa libre de polvo colgada.
16. Excepto ropa libre de polvo y otros artículos prescritos, no se permite colocar ningún otro artículo en los pequeños armarios del vestuario.
17. A excepción de los papeles y artículos específicos, no se permite la entrada de ningún otro artículo a la sala limpia.
18. No se permite sacar ropa limpia, etc. de la sala limpia y debe colocarse en el lugar prescrito después de su uso.
19. Las mascarillas y guantes se pueden conservar o reutilizar según la situación.
20. Todo lo que entre en la sala limpia debe limpiarse con alcohol.
21. Antes de ingresar a cualquier equipo, informe al gerente y límpielo fuera de la habitación libre de polvo antes de ingresar.
22. Se prohíbe el uso de instrumentos que no hayan superado la evaluación. En caso de emergencia, se deben seguir los procedimientos adecuados, como cerrar los interruptores de agua, electricidad, gas, etc.
23. No se debe permitir fuego en la sala limpia para evitar accidentes.
2. Instrucciones de funcionamiento de la sala limpia
1. Al manipular las virutas, debe usar guantes sin fibras y utilizar pinzas limpias para sujetar las virutas. Si algo entra en contacto con el chip, se debe limpiar el chip contaminado antes de poder seguir utilizándolo:
(1) Si el extremo frontal de alguna pinza (es decir, el extremo que sostiene el chip). ) ha sido tocado, o las pinzas Si cae al suelo, debe limpiarse. No limpie las pinzas sucias con toallas de papel o paño.
(2) Si el chip ha sido tocado con los dedos antes de pasar al siguiente proceso después de la limpieza, se debe limpiar nuevamente.
(3) Coloque el chip en el bote de cuarzo y prepárese para ingresar al tubo del horno. Si se encuentra que las pinzas utilizadas están sucias o hay contaminación obvia en el chip causada por las pinzas, el chip debe ser eliminado. límpielo nuevamente y reemplácelo con pinzas limpias inmediatamente.
2. El chip debe colocarse en una caja, tapado y almacenado en un lugar determinado, con la menor exposición posible.
3. Evite hablar sobre el chip para evitar que la saliva salpique el chip antes de que entre en el horno de difusión, preste especial atención para evitar que se produzcan las acciones anteriores si hay restos de fibra en el. chip, utilice gas nitrógeno.
4. Al sacar el chip de un bote de oblea de teflón, un bote de cuarzo u otro soporte, debe levantarlo verticalmente hacia arriba para evitar rayar el chip. La lente del microscopio debe ser El chip se puede quitar del. soporte de succión sólo después de que se haya separado el chip.
5. Si ha crecido una capa de óxido en el chip, no utilice un cuchillo de diamante para marcar el chip antes de enviarlo a la cámara de luz amarilla.
6. Durante el funcionamiento, no importa si usa guantes o no, sus manos no deben meterse en el fregadero de limpieza.
7. Cuando utilice una estación química o un horno para procesar chips, asegúrese de colocarlos en un bote de oblea de teflón. No utilice cajas de plástico.
8. Al colocar la viruta en el bote de cuarzo, si la viruta cae al suelo o en las manos, se debe limpiar nuevamente la viruta antes de entrar al horno de oxidación.
9. No toque el interior de la caja de chips. Si esta es tocada o contaminada por virutas rotas, debe limpiarse nuevamente.
10. No dejar guantes, papel usado y otros elementos diversos sobre la mesa de operaciones. Los guantes deben ser reemplazados si están quemados, deshilachados o tienen exceso de fibra.
11. Nunca abra instrumentos desconocidos ni varios botones o manijas de control de válvulas de conmutación sin instrucciones.
12. Si hay un olor extraño o una reacción, color, sonido, etc. inusual, notifique al personal correspondiente de inmediato.
13. Si el equipo sufre daños debido a un funcionamiento incorrecto, asegúrese de informarlo inmediatamente al responsable o al profesor.
14. Las cajas de chips que entran y salen de la sala limpia deben mantenerse limpias y selladas con film transparente. No se permite la entrada a infractores.
15. Para grabar en la sala limpia siempre se utilizan bolígrafos y cuadernos libres de polvo. No se permiten lápices ni papel normal.
3. Instrucciones para operar en el área de luz amarilla
1. La humedad y la temperatura afectarán el trabajo de alineación. Preste atención a la temperatura y la humedad en el área de luz amarilla y reduzca. la cantidad de luz cerca de la máquina de alineación para reducir la humedad y los cambios de temperatura.
2. Los chips con fotorresistente que aún no hayan sido expuestos no deben sacarse del área de luz amarilla para evitar la exposición a la luz.
3. El chip que ha sido recubierto con fotorresistente y está esperando alineación y exposición debe colocarse en una caja de cristal azul-negro opaco y la tapa de la caja debe cerrarse correctamente.
4. Al utilizar la fotomáscara, debe sujetarla por el borde y no tocar la superficie de la fotomáscara. Bajo ninguna circunstancia, la película de cromo de la fotomáscara no debe entrar en contacto con otros objetos para evitar rayones. En la fotomáscara se puede quitar con nitrógeno. La pistola lo sopla.
5. Durante la exposición, evite mirar directamente a la lámpara de mercurio de la máquina de exposición.
IV.Instrucciones de uso de las pinzas
1. Después de entrar al laboratorio se deben colocar guantes antes de sacar las pinzas para evitar contaminación.
2. Solo se pueden utilizar pinzas limpias para manipular el chip. Una vez que las pinzas se caen al suelo, se tocan con las manos o se contaminan por otros motivos, se deben limpiar antes de volver a usarlas.
3. Después de su uso, las pinzas deben colocarse en los lugares designados de cada estación y no pueden colocarse arbitrariamente. Si hay pinzas para procesos especiales, deben guardarse solas después de su uso y no se pueden mezclar. pinzas de cada estación del laboratorio.
4. Las pinzas deben mantenerse en una postura de "sujeción de bolígrafo" para recoger el chip.
5. Al recoger el chip, recójalo de atrás hacia adelante. Al volver a colocar el chip, colóquelo de adelante hacia atrás para evitar rayar la superficie del chip.
6. Al recoger el chip, coloque el "lado corto" (cabeza en forma de sierra) en la parte frontal del chip y el "lado largo" (cabeza plana) en la parte posterior del chip. Sostenga la parte en blanco del chip y no lo dañe.
7. No toque con las pinzas el tanque de ácido ni el tanque de agua D.I.
8. Las pinzas solo se pueden utilizar para recoger virutas y no se permite su uso para otros fines.
5. Instrucciones para el uso de químicos
1. Se debe registrar la entrada y salida de químicos, notificar al gerente y tener una Hoja de Datos de Seguridad del Material (MSDS). colocarse en la puerta del laboratorio.
2. Antes de utilizar productos químicos, lea atentamente la Hoja de datos de seguridad del material (MSDS) e informe al gerente.
3. Antes del cambio de ácido, debe usar una falda de plástico a prueba de ácido, guantes de manga larga a prueba de ácido, gafas protectoras en la cabeza y zapatos de plástico a prueba de ácido en los pies antes de poder realizar ácido. cambiar.
4. No abra la tapa de la botella de ácido a voluntad. Cierra la tapa inmediatamente después de su uso.
5. Al diluir ácido, asegúrese de agregar ácido al agua y nunca agregue agua al ácido.
6. No pruebes ningún producto químico ni utilices el olfato para determinar el contenido del envase.
7. No agite ni dé la vuelta al recipiente cuando no sepa qué tipo de medicamento hay en él.
8. Todo trabajo químico debe realizarse en un lugar bien ventilado o con escape.
9. Cuando opere varios ácidos, debe leer atentamente las especificaciones de funcionamiento.
10. Los ácidos y álcalis se pueden almacenar juntos en armarios de almacenamiento con equipo de ventilación, pero no deben almacenarse junto con disolventes orgánicos.
11. Coloque el ácido residual en el cubo de ácido residual. No lo arroje al azar, y mucho menos lo mezcle con soluciones orgánicas.
12. Coloque las soluciones orgánicas de desecho en barriles de líquidos de desechos orgánicos y no las arroje arbitrariamente ni en barriles de ácido de desecho.
13. No cambiar la solución del recipiente de forma arbitraria.
14. Si desea traer una solución usted mismo, informe a la persona con anticipación y obtenga permiso antes de poder traerla. Si la solución que desea traer usted mismo es peligrosa, es peligrosa. debe evaluarse antes de poder traerlo y márquelo en el contenedor. Etiquete claramente el contenido del contenedor y su vida útil.
15. Tratamiento de líquidos residuales: los líquidos residuales se dividen en ácidos, álcalis, ácido fluorhídrico, orgánicos, etc., y se procesan y registran por separado. Los barriles de líquidos residuales están claramente marcados. y bases como el ácido fluorhídrico Nunca lo toques con las manos.
16. Tratamiento de fugas de agua o fugas de ácido: Cuando se produzcan fugas de agua o fugas de ácido, para garantizar la seguridad, nunca lo toque con las manos, primero apague el interruptor de alimentación principal y las válvulas relacionadas, y luego use un. paño libre de polvo o base ácida Trátelo con un adsorbente e infórmelo al administrador.
6. Operación de la estación de trabajo química
1. Al operar, se deben usar guantes de goma y mascarilla de acuerdo con la normativa.
2. No coloque la caja de plástico en el tanque de ácido o en el tanque de limpieza.
3. Antes de agregar cualquier solución, asegúrese de confirmar el solvente en el recipiente antes de agregar.
4. Cuando trabaje en una estación de trabajo de productos químicos, debe desarrollar una buena postura de trabajo y evitar inclinar la parte superior del cuerpo hacia adelante sobre el tanque de productos químicos y el tanque de limpieza. Esto puede evitar peligros y reducir la posibilidad de contaminación.
5. Cuando la estación química no esté en funcionamiento, quienes cuenten con tapa deberán taparla en todo momento y cerrar el interruptor de agua del fregadero de limpieza.
6. Cuando los productos químicos salpiquen la ropa, la piel, la cara o los ojos, la zona salpicada se debe enjuagar con agua durante más de 15 minutos hasta que el color de la piel vuelva a la normalidad y se debe organizar un tratamiento de primeros auxilios. inmediatamente.
7. Cuando se produzcan fugas de productos químicos, responda rápidamente y manipúlelos adecuadamente. Si es necesario, evacue según las instrucciones.
8. Utilice guantes de goma en cada estación de trabajo de productos químicos. Evite tocar cada máquina, banco de trabajo y otros equipos. Utilice guantes libres de polvo para las operaciones generales.
7. Método RCA
1. DIWater 5 min
2. H2SO4: H2O2 = 3:1, hervir durante 10 ~ 20 min a 75 ~ 85 ℃. eliminar metales, orgánicos y aceites
3. DIWater 5 min
4. HF: H2O 10 ~ 30 s, eliminar la capa de óxido nativo (Oxido nativo)
5. DIWater 5min
6. NH4OH: H2O2; H2O=1:1:5, hervir durante 10~20 min a 75~85℃, eliminar el metal orgánicamente
7. p>
8 HCl: H2O2: H2O=1:1:6 Hervir 10~20min 75~85 ℃ Desionización
9. DIWater 5min
10. /p>
8. Precauciones de limpieza
1. Si hay agua, vierta agua primero y H2O2 al final. La proporción numérica es la proporción de volumen.
2. No se deben mezclar productos orgánicos y ácido-base, y las plataformas operativas se deben utilizar por separado.
3. Vierta la solución ácido-base en el tanque de recuperación después de enfriar y enjuague el vaso con agua desionizada durante 5 minutos.
4. Lave las botellas vacías de ácido y álcali con agua y colóquelas por separado en contenedores de reciclaje al aire libre de acuerdo con las botellas de plástico y las de vidrio.
5. El ácido fluorhídrico corroerá los huesos. Si entra en contacto, aplique inmediatamente gluconato de calcio y agua, luego enjuague con agua limpia y busque atención médica. Si encuentra otros ácidos y álcalis, enjuague inmediatamente con grandes cantidades de agua desionizada.
6. Después de la limpieza, la oblea debe colocarse en agua desionizada tanto como sea posible para evitar la contaminación.
7. Los pasos de limpieza simples son 1-2-9-10; los pasos para limpiar SiO2 son 1-2-10; los pasos para limpiar Al son HCl:H2O=1:1.
8. Los pasos para retirar el fotorresistente positivo son 1-2-10, o sumergir en ACE y oscilar con ondas ultrasónicas.
9. Cada vaso o tanque tiene una solución específica para ser llenado. No se deben mezclar grabado, limpieza, galvanoplastia y orgánico.
10. Existen cinco tipos de reciclaje de líquidos residuales: ácido, álcali, ácido fluorhídrico, galvanoplastia y orgánico. Se reciclan por separado y se registran antes de su vertido, consulte la tabla de compatibilidad de residuos para asegurarse de que así sea. corregir antes del vertido.
Sistema de sala limpia
Método de operación de uso
1. Primero encienda la operación de calefacción eléctrica, la operación del molino de viento presurizado, la operación del baño de polvo, la operación del molino de viento de escape y otros. interruptores.
Nota:
* El controlador de temperatura y el controlador de humedad se pueden ajustar con el botón amarillo. Generalmente, el control de temperatura es 20 ℃ DB y el control de humedad es 50 RH.
*El interruptor de voltaje en el panel del controlador de la izquierda es RU y el interruptor de corriente es T. El interruptor de voltaje en el panel del controlador derecho es RS y el interruptor de corriente está en APAGADO.
2. Encienda el interruptor de suministro de aire del aire acondicionado tipo caja y luego encienda el interruptor de aire acondicionado y calefacción después de que el suministro de aire esté estable. En este momento, la luz roja se encenderá. hacia arriba, lo que indica un funcionamiento normal.
Nota:
＊La secuencia de arranque del aire acondicionado es el compresor N°2.
* La temperatura se ajusta de manera que el puntero apunte al calentador rojo 5.
* La VÁLVULA DE AIRE del interruptor de derivación está encendida.
3. Después de utilizar la sala limpia, apague el aire acondicionado y presione el botón de parada.
4. Luego apague la operación de calefacción eléctrica, la operación del molino de viento presurizado, la operación de la sala de baño de polvo, la operación del molino de viento de escape y otros interruptores en el panel del controlador en secuencia.
Cilindro de gas
Instrucciones de uso
1. Utilice la manija para abrir el cilindro de gas en sentido antihorario hasta el final, y encienda SALIDA y apague PURGA.
2. Utilice la perilla negra para ajustar la presión (psi) del cilindro de gas. La dirección en el sentido de las agujas del reloj aumenta y la dirección en el sentido contrario a las agujas del reloj disminuye.
3. Ajuste el cilindro de N2 a 40 psi (20 psi en la sala de luz amarilla) y ajuste el cilindro de AIRE a 80 psi (60 psi en la sala de luz amarilla).
4. Después de usar el cilindro de gas, use la manija para cerrar el cilindro de gas en el sentido de las agujas del reloj hasta el final, cierre la SALIDA y abra la PURGA para descargar el gas en la tubería y cierre la PURGA.
Sistema de agua pura
Método de operación de uso
1. Control de válvula
(1) Válvula (VÁLVULA) V1, V2, V3. , V4, V6, V8, V10, V12, V13, V14, V16, V17, V19 deben mantenerse completamente abiertos.
(2) Las válvulas V5, V7, V11, V18 y V21 deben permanecer completamente cerradas.
(3) Las válvulas V9 y V20 son para regular la presión y no se pueden abrir ni cerrar completamente.
(4) Entre las válvulas, V5 es el BY-PASS del filtro de arena, V15 es el BY-PASS de la lámpara U.V, V18 es el BY-PASS del cubo DI y V21 es el BY-PASS del filtro de arena. el BY-PASS de la membrana RO.
2. Producción automática de agua
Paso 1: Coloque el interruptor de cada válvula de bola de acuerdo con el control de válvula anterior.
Paso 2: En la caja de control, mantenga cada interruptor en la posición APAGADO.
Paso 3: Coloque el interruptor de funcionamiento del sistema en la caja de control en la posición ON.
Paso 4: Activar la válvula solenoide 1 y realizar primero la descarga inicial.
Paso 5: La válvula solenoide 2 activa la producción de agua.
Paso 6: En este momento, BOMBA1 y BOMBA2 se activan en secuencia, el sistema produce agua normalmente y el agua producida por RO ingresa al tanque de almacenamiento de agua (TANQUE) a través de la tubería cuando el agua está llena. , la luz indicadora de nivel alto de líquido en la caja de control se enciende. El sistema se apaga automáticamente y activa nuevamente la producción de agua cuando el nivel de agua en el tanque de almacenamiento de agua cae al nivel bajo.
3. Suministro de agua del sistema
Cambie el interruptor de parada de agua del ciclo nocturno en la caja de control a agua. En este momento, la bomba de suministro PUMP3 se activa y el agua pura. en el TANQUE, después de ser transportado a barriles U.V y DI y filtrado con precisión, se puede usar en varios puntos de uso en el sitio.
4. Circulación nocturna
El interruptor de parada de agua del ciclo nocturno en la caja de control se basa principalmente en consideraciones de higiene de la tubería después de que se detiene el suministro de agua después de salir del trabajo. todos los días o durante días festivos consecutivos. Los pasos son:
(1) Después de detener el suministro de agua durante 59 minutos, el sistema suministrará agua automáticamente durante 1 minuto más.
(2) A partir de entonces, el suministro de agua circulará durante 1 minuto cada 59 minutos hasta que la circulación se detenga por la noche.
5. Detección del sistema
Este sistema está equipado con varios manómetros, caudalímetros y conductímetros para controlar el funcionamiento del sistema.
Manómetro 1: Presión de entrada de agua del filtro de arena
Manómetro 2: Presión de entrada de agua de RO
Manómetro 3: Presión de drenaje de RO
Tabla de presión 4: Presión de entrada de agua DI
Manómetro 5: Presión de retorno del suministro de agua
Caudalímetro 1: Flujo de drenaje de RO
Caudalímetro 2: Flujo de agua producida por RO
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Además, la caja de control (sala de máquinas) está equipada con una pantalla de conductividad LED de dos segmentos, que puede cambiar la visualización de agua cruda y agua producida respectivamente.
6. Mantenimiento del sistema
Para el sistema HF-RD, consumibles que deben actualizarse periódicamente:
(1) El filtro de arena debe invertirse periódicamente.
(2) El prefiltro debe actualizarse cada 1-2 meses.
(3) Los tubos de membrana deben limpiarse o actualizarse según sea necesario dependiendo de su tasa de eliminación y volumen de producción de agua.
(4) Se actualiza el valor de resistencia aparente del lecho mixto de resina.
(5) El filtrado de precisión se actualiza aproximadamente cada 2-4 meses.
7. Solución de problemas
Solución de posibles factores del fenómeno
El sistema se apaga y el sistema no se puede activar 1. Fuente de alimentación externa anormal 2. El sistema el interruptor de operación no está presionado 3 . Falla del circuito del sistema 4. Falla del motor/bomba 1. Verifique el circuito de alimentación del sistema 2. Presione el interruptor de operación del sistema 3. Notifique al fabricante 4. Actualice el motor/bomba
Bajo. producción de agua 1. El drenaje del tubo de membrana es demasiado alto Alto 2. Presión insuficiente 3. Tubo de membrana bloqueado 1. Ajuste la válvula de drenaje V92 Limpie el tubo de membrana o actualice el tubo de membrana
Resistencia específica baja 1. Disminución de la función de la resina 2. Disminución de la tasa de eliminación de RO 1. Reemplace la resina 2 Reemplace el grupo de película RO
Máquina de alineación de mascarillas
Método de uso
Introducción al. máquina de exposición
En el proceso de fabricación de semiconductores, el recubrimiento después de colocar el fotorresistente, el chip debe exponerse y revelarse mediante luz ultravioleta UV. Esta máquina de exposición es la serie OAI200, que integra alineación de máscara y luz ultravioleta UV. exposición y desarrollo, dispositivo de medición de luz ultravioleta UV y dispositivo de sujeción de máscara.
La serie OAI200 es un alineador de mascarillas de nivel básico que puede cambiar manualmente varios parámetros de uso, como el tiempo de exposición, la intensidad de exposición, la potencia de exposición, etc. Tiene buenos efectos de desarrollo para anchos de línea de gama media a alta. Esta serie puede utilizar chips de hasta cuatro pulgadas y la potencia de exposición máxima es de 1 KW.
Pasos para usar la máquina de exposición
1. Compruebe si el cilindro de nitrógeno
2. Conecte la fuente de alimentación del motor de escape del túnel, lleve a cabo los pasos de ventilación de la máquina de exposición y verifique si hay entrada de aire desde la entrada de aire detrás del portalámparas de mercurio sobre la máquina de exposición. Si el volumen de aire es pequeño o no hay entrada de aire, no se puede encender la lámpara de mercurio (sonará una alarma). Sólo después de confirmar que hay entrada de aire desde la entrada de aire se puede encender el interruptor de ENCENDIDO/APAGADO de la fuente de alimentación de la lámpara de mercurio debajo de la máquina de exposición.
3. Mantenga presionado el botón INICIO de la fuente de alimentación de la lámpara de mercurio durante aproximadamente 1 a 3 segundos. En este momento, el valor actual aumentará (lo que significa que la lámpara de mercurio se ilumina y comienza a consumir corriente). ). Suelte el botón inmediatamente. La lámpara de mercurio se enciende.
4. Después de encender la lámpara de mercurio, se debe dejar en espera durante al menos 30 minutos para estabilizar el sistema Lightsource. Si la lámpara de mercurio no enciende, no realice ninguna reparación.
5. Después de que el sistema esté estable, complete los valores de voltaje y corriente en la fuente de alimentación en la hoja de registro y regístrelo como un registro cada vez que encienda la luz.
6. Desenrosque los tornillos de la abrazadera de la mascarilla, coloque el frente (superficie cromada) de la mascarilla hacia abajo, alinéelo con los tres puntos de referencia, presione el botón MASKVAC, deje que el vacío succione. la máscara y luego asegúrela. Atornille para asegurar la retícula.
Nota:
＊ Se debe bajar el soporte de la mascarilla antes de colocar la mascarilla. Tire del MARCO DE LA MÁSCARA ARRIBA/ABAJO para subir o bajar el soporte de la MÁSCARA.
Bloquee los dos bordes de hierro negro al lado.
*Comprueba si la base circular CHUNK sobre la que se coloca el chip está más baja que la fotomáscara para evitar que la fotomáscara aplaste el chip.
7. Suba el botón MASK FRAME UP/DOWN para levantar el MASKHolder, coloque el chip en el CHUNK, gire el botón SUB VAC a ON, deje que la aspiradora succione el chip y baje el. Botón MASK FRAMEUP/DOWN , lo que hace que se baje el soporte de la MÁSCARA.
8. Gire el botón de bloqueo de bola para desbloquear y gire lentamente la perilla Z en el sentido de las agujas del reloj para elevar la base del chip hasta que la correa de transmisión se sienta apretada. Luego gire la perilla Z en sentido contrario a las agujas del reloj unos 15 bloques y gire el botón de bloqueo de bola. para bloquear.
Nota:
＊La perilla Z mide aproximadamente 15 micrones por rejilla.
＊ Al girar el Zknob en sentido contrario a las agujas del reloj, se bajará la base sobre la que se coloca el chip. El propósito es dejar una ligera distancia entre el chip y la máscara durante la alineación para que el chip y la máscara no se froten directamente. unos contra otros.
* Si no es necesaria la alineación, no es necesario girar la perilla Z en sentido antihorario.
* Al girar el Zknob, ya sea en el sentido de las agujas del reloj o en el sentido contrario a las agujas del reloj, cuando la correa se desliza, significa que la base del chip está en contacto con la fotomáscara. En este momento, no se puede girar en el sentido contrario a las agujas del reloj, lo que provocará la rotación. pernos internos para aflojar.
*CHUNK ¨ Z ¨ ADJUST generalmente está entre 15A y 20 A, y cuanto menor sea la corriente, más floja será la correa.
9. Mueva la base del microscopio a la parte superior de la fotomáscara para realizar la corrección de alineación entre el chip y la fotomáscara. Si necesita ajustar la posición del chip, puede usar la palanca de ajuste fino al lado de la base del chip para corregir X, Y y θ de la base del chip.
10.
100 SEG
1000 SEG
RESET
EXPONER
SEC
El lado izquierdo del panel de la máquina de exposición se muestra a continuación:
Nota:
＊Hay dos configuraciones para los segundos de exposición, una es 1000 SEG. y el otro es 100SEG. Cuando se presiona 1000SEC, el contador se puede configurar en un tiempo de exposición máximo de 999 segundos; cuando se presiona 100SEC, el contador se puede configurar en un tiempo de exposición máximo de 99,9 segundos.
* Al configurar los segundos de exposición, primero mida el brillo de la lámpara de mercurio. Primero presione LAMP TEST, luego presione y mantenga presionado el botón en el mango para mover la base hacia el extremo izquierdo de la máquina de exposición. y luego coloque el OAI 306 UVPOWERMETER. Simplemente haga clic en CHUNK. Presione RESET después de completar y podrá medir varias posiciones diferentes para ver si el brillo de la lámpara de mercurio es uniforme. La unidad medida es mw/cm2, que se puede convertir a. Unidades mJ multiplicando por tiempo (SEC).
11. Después de configurar los segundos de exposición, puede continuar con el proceso de exposición. Gire CONTACT VAC a ON y N2 PURGE a ON, luego se generará un ligero vacío entre el chip y la fotomáscara.
Nota:
*El rango de AJUSTE DE VAC DE CONTACTO es generalmente alrededor de rojo-25 kpa.
12. Mantenga presionado el botón en el mango, luego la base puede moverse hacia el extremo izquierdo de la máquina de exposición. Suelte el botón y la máquina de exposición realizará automáticamente la acción de exposición.
13. Una vez completada la exposición, la base se puede mover nuevamente al extremo derecho de la máquina de exposición. Apague la PURGA de N2. Luego, apague CONTACTVAC y el instrumento se llenará de nitrógeno para romper el vacío entre la máscara y el chip, lo que facilitará al usuario la extracción del chip.
14. Gire la perilla Z en sentido antihorario para bajar la base del chip al punto más bajo. Afloje el marco de hierro con bordes negros que fija la máscara y levante el botón MASK VAC para romper el vacío del soporte de MASK y sacar la máscara.
15. Gire el MARCO DE LA MÁSCARA ARRIBA/ABAJO para levantar el soporte de la MÁSCARA. Apague SUBVAC, use el clip del chip para quitar el chip y luego gire el MARCO DE LA MÁSCARA ARRIBA/ABAJO a ABAJO.
16. Si se requiere otra exposición, se pueden repetir los pasos anteriores.
17. Después de completar todos los procedimientos de exposición, primero apague el generador de la fuente de luz del microscopio y luego apague la fuente de alimentación de la lámpara de mercurio.
〈No vuelva a encender la lámpara de mercurio dentro de una hora después de apagar la luz, lo que ha extendido la vida útil de la lámpara de mercurio〉
18 Primero apague el motor de escape del túnel, apague la exposición. Coloque el interruptor SYSTEMON/OFF en la posición OFF y luego apáguelo. Desconecte el interruptor principal del cable de extensión debajo de la máquina de exposición. Después de que la máquina de exposición se haya enfriado, finalmente cierre la válvula de nitrógeno y la válvula de aire en la pared.
Máquina de evaporación térmica
Métodos de uso y operación
Pasos de puesta en marcha
1. la parte trasera de la máquina.
2. Para abrir el agua de refrigeración, primero debe activar el sistema de agua D.I.
3. Enciende el RP y calienta el motor durante 2 minutos.
4. Abra la válvula de tres vías a la posición F.V y espere 2 minutos.
5. Encienda el DP y caliente la máquina durante 30 minutos (la limpieza y carga de la muestra se puede realizar mientras el motor se está calentando para ahorrar tiempo).
B. Carga
1. Abra la ventilación y ciérrela inmediatamente después de la entrada de aire.
2. Cámara Abierta.
3. Cargando Muestra, Barco y Metal.
4. Utilice el obturador para bloquear la muestra.
5. Al cerrar la cámara, asegúrese de prestar atención a si la puerta está hermética. Debido a que la máquina está en mal estado, generalmente debe presionar firmemente la esquina superior derecha de la puerta.
C. Aspiración
1. Bombeo inicial
(1) Cambie la válvula de tres vías a la posición R.V (es mejor cambiar a F.V cada vez). unos minutos) para evitar que las moléculas de aceite y gas de la bomba en el DP se difundan en la cámara).
(2) Cuando el vacuómetro VAP-5 muestre 5?10-2 torr, cambie la válvula de tres vías a F.V y espere 30 segundos.
2. Bombeo fino
(1) M.V ON, tiempo récord.
(2) MEDIDOR DE IONES ENCENDIDO, presione Fil para encender el filamento (debe estar por debajo de 10-3 Torr para completar la extracción de gas).
D. Evaporación
1. Cuando la presión sea de aproximadamente 2-10-5 Torr, comience a agregar nitrógeno líquido.
2. Cuando la presión sea inferior a 2-10-6 Torr, registre la presión y el tiempo de bombeo y apague el MEDIDOR DE ION.
3. Encendido del calentador (asegúrese de que la perilla de ajuste de potencia esté puesta a cero).
4. Seleccione BARCO1 o BARCO2.
5. Cuando comience la evaporación, tenga en cuenta que la corriente debe aumentar lentamente.
Nota:
* Cuando se enchapa en oro, la corriente en el medidor es de aproximadamente 100 A. Cuando se enchapa en Al, la corriente puede ser ligeramente menor, alrededor de 70 ~ 80 A.
* Cuando el BARCO emite luz roja debido al alto calor, la ventana de visualización debe cerrarse inmediatamente para evitar que el metal se adhiera al vidrio de la ventana de visualización.
*Después de vaciar el enchapado durante unos segundos para limpiar la superficie del metal a enchapar, se puede abrir la persiana y comenzar la evaporación.
＊Una vez completada la evaporación, apague inmediatamente el HeaterPower y espere de 10 a 15 minutos para que el BARCO se enfríe y el metal evaporado se enfríe para evitar la oxidación causada por el contacto inmediato con el aire antes de que se rompa la ventilación. el vacío.
E. Rompiendo el vacío
1. La temperatura de retención del sustrato debe reducirse a la temperatura normal.
2. APAGADO DEL MEDIDOR DE IONES.
3. M.V APAGADO.
4. Enfriamiento DP OFF durante 30~60 minutos.
5. Abra la ventilación (ciérrela inmediatamente después de la entrada de aire).
6. Abra la cámara y saque la muestra y el BARCO.
7. Cierre la cámara y asegúrese de cerrar bien la puerta.
F. Apagar
1.
2. Encienda el RV, bombee a 0,01 Torr y luego apáguelo.
3. Encienda el F.V. Después de 30 segundos, la válvula de tres vías cambiará a la posición cerrada.
4. RP APAGADO.
5. Apague la alimentación principal.
6. Cierra el agua de refrigeración.
7. Apague el nitrógeno.
Nota:
* Durante la evaporación, la corriente debe aumentarse lentamente y no debe ser demasiado alta para evitar que se vaporice una gran cantidad de metal en un instante, lo que dificulta el control del espesor. .
* Si lo utilizan otras personas, el nitrógeno líquido se puede llenar con menos nitrógeno líquido, aproximadamente un tercio del cilindro es suficiente.
Tubo de horno de oxidación
Métodos de uso y operación
Introducción al tubo de horno de oxidación
El tubo de horno de oxidación utilizado en este laboratorio es Lenton LTF1200 El horno tubular horizontal puede contener obleas de silicio de 2 pulgadas. El área de calentamiento es superior a 50 cm. La temperatura máxima puede alcanzar los 1200 °C y puede durar 24 horas. La temperatura máxima de funcionamiento es de 1150 °C. Controlador de temperatura automático por microordenador PID.
Propósito
Después de exponer el chip de silicio a una temperatura alta y un ambiente que contiene oxígeno durante un período de tiempo, podemos desarrollar una capa en la superficie del chip de silicio que tiene buenas adherencia al silicio y es eléctricamente conductor. El aislante - SiO2 cuyas propiedades cumplen con nuestros requisitos.
Nota:
* Antes de encender el horno de oxidación, primero debe asegurarse de que el HEATSwitch esté en el estado O-off. La l brillará cuando el interruptor esté encendido y el horno de oxidación comenzará a calentarse.
* Si el dispositivo de protección contra sobrecalentamiento es bueno, asegúrese de que la configuración del punto de alarma sea adecuada para el uso actual. Si el dispositivo de protección contra sobrecalentamiento está bien, sonará el zumbador y habrá un programa de alarma constante durante la operación de control de sobretemperatura.
* Para mejorar el impacto térmico del tubo o casquillo de vidrio de cuarzo, la velocidad máxima de calentamiento no puede exceder los 3°C por minuto.
* Para reducir la pérdida de calor, se deben determinar los procedimientos operativos correctos y el tubo de vidrio de cuarzo se puede sellar con el uso adecuado de pernos aislantes y protección contra la radiación.
* No apague el horno de oxidación a la temperatura máxima cuando esté en funcionamiento para prolongar la vida útil del horno de oxidación.
Pasos de la operación:
1. Verifique si se produjo algún problema anormal en la operación anterior y complete el registro de operación.
2. Verifique el estado de la máquina
(1) Estado del panel de control: asegúrese de que el HEATSwitch esté en O apagado antes de usarlo.
(2) Controlador de calefacción: Lenton LTF 1200 temperatura gt; 400°C, la diferencia de temperatura entre los hornos delantero y trasero es de ?40°C.
(3) Control de gas: H2OFF, O2 OFF.
3. Empuje lentamente el chip dentro del tubo del horno.
4. Abrir los interruptores de H2 y O2 en la pared y la válvula reguladora de presión del cilindro de gas en la sala de máquinas.
5. Establezca el valor de flujo de gas (H2, O2) y la temperatura del horno preestablecidos.
6. Presione el interruptor HEAT a l. En este momento, la temperatura del horno se calentará lentamente desde la temperatura constante (400 °C) hasta la temperatura de proceso estándar de 1100 °C. La velocidad de calentamiento máxima no puede exceder 3. °C por minuto.
7. Saque el chip después de que la temperatura del horno baje a una temperatura constante.
8. Apague el H2 y el O2.
9. Cierre el interruptor H2 en el extremo posterior del tubo del horno, el interruptor en la pared y la válvula reguladora de presión del cilindro de gas en la sala de máquinas.
10. Compruebe si el tubo del horno ha completado la acción de apagado.
11. Complete la hora de finalización del registro de operación y la protección y explicación de excepción.
Máquina de recubrimiento
Instrucciones de uso
1. Primero inserte el enchufe de PUMP en la toma de corriente en la parte posterior de la máquina de recubrimiento.
2. Inserte el enchufe de la máquina de recubrimiento en la toma de corriente de 110V y luego presione el botón de ENCENDIDO.
3. Establezca la velocidad de rotación y el tiempo. Este modelo es un Spin Coating de aceleración de dos etapas. El lado derecho es la primera etapa de aceleración y el lado izquierdo es la segunda etapa de aceleración.
4. Dependiendo del tamaño del sustrato, se pueden reemplazar diferentes platos giratorios para el recubrimiento.
5. Presione el botón BOMBA. En este momento, la plataforma giratoria succionará el sustrato y luego aplicará el fotorresistente en forma de espiral desde el centro del sustrato hacia el exterior de manera uniforme y lenta hasta una cantidad adecuada. cantidad Durante la operación de recubrimiento fotorresistente, se puede usar gas nitrógeno para limpiar el área circundante del plato giratorio y el sustrato.
6. Cierre la cubierta protectora de la máquina de recubrimiento para evitar que el fotorresistente salpique de la máquina de recubrimiento.
7. Presione el botón INICIO y la recubridora comenzará a recubrir.
8. Una vez completado el recubrimiento, abra la cubierta protectora, presione el botón BOMBA y gire la plataforma giratoria para liberar el sustrato y podrá retirarlo.
Horno de circulación de aire caliente
Instrucciones de uso
1. El voltaje de esta máquina es 110V/60HZ.
2. Después de confirmar el voltaje, enchufe el cable de alimentación a la toma de 110V.
3. Encienda el interruptor POWER y el termómetro PV mostrará la temperatura real en el cuadro.
4. Primero presione la tecla SET?, SV seguirá parpadeando y podrá comenzar a configurar la temperatura. La ventana de subtítulos de SV mostrará un brillo alto y la temperatura requerida se puede configurar en el modo alto. posición de brillo, simplemente presione la tecla SET nuevamente y el brillo alto se moverá en consecuencia, y la temperatura se puede configurar en el lugar de brillo alto.
5. Presione la tecla ARRIBA ▲ para indicar que la temperatura aumenta hacia arriba y presione la tecla ▼ ▼ para indicar que la temperatura disminuye hacia abajo.
6. Después de completar el ajuste de temperatura anterior (SV todavía parpadea), simplemente presione la tecla ENT una vez y el SV mostrará la temperatura que acaba de configurar (PV muestra la temperatura real).
7. Cuando la luz de visualización OUT de la lámpara de calentamiento está encendida, significa que la máquina se está calentando, y cuando alcanza el punto establecido, OUT parpadeará (fenómeno normal).
8. Cuando la luz AT está encendida, significa que la temperatura se calcula automáticamente.
9. Cuando la luz roja ALM-1 está encendida, significa que la temperatura está sobrecalentada (la temperatura se enfriará automáticamente).
10. Cuando la luz roja del ALM-2 está encendida, significa que la temperatura es demasiado baja (la temperatura se calentará automáticamente).
11. Rango de temperatura: 40 ℃ ~ 210 ℃.