La función de la fuente de RF de la máquina de recubrimiento

La fuente de RF de la máquina de recubrimiento se utiliza para la deposición asistida por haz de iones o la deposición por haz de iones de recubrimientos ópticos altamente controlados. La fuente de iones de RF primero utiliza una señal de alta frecuencia de 13,56 MHz para excitar los iones y generar plasma, y ​​luego extrae iones y electrones por separado para neutralizarlos en el espacio y formar una fuente de iones de plasma de alta energía.

Varios métodos de recubrimiento comúnmente utilizados en máquinas de recubrimiento

Existen varios métodos de recubrimiento para recubrir piezas de trabajo en máquinas de recubrimiento. Deben seleccionarse de acuerdo con las características del producto y la pieza de trabajo, ya que. así como el efecto que se logrará y el entorno de uso. Si elige el método de recubrimiento, necesitará diferentes efectos y el proceso de recubrimiento utilizado será diferente. Evaporación al vacío, pulverización catódica, revestimiento de iones (revestimiento de iones de cátodo hueco, revestimiento de iones de cátodo caliente, revestimiento de iones de arco, revestimiento de iones reactivos activos, revestimiento de iones de radiofrecuencia, revestimiento de iones de descarga de CC).

El revestimiento de iones por arco de las máquinas de recubrimiento ioniza el material objetivo en un estado iónico a través de bajo voltaje y alta corriente, completando así la deposición de materiales de película delgada. La tasa de ionización de este material tecnológico es mayor y el rendimiento de la película. es mejor.