Introducción a los objetivos metálicos
El objetivo metálico es un material común utilizado en el proceso de recubrimiento por pulverización catódica en la tecnología de deposición física de vapor (PVD). Los objetivos metálicos suelen existir en forma sólida y tienen las siguientes características:
1. Amplia gama de materiales: Los objetivos metálicos pueden incluir varios elementos metálicos, como cobre, aluminio, hierro, titanio, cromo, níquel, etc. . Los diferentes objetivos metálicos tienen diferentes propiedades físicas, químicas y eléctricas y son adecuados para diferentes escenarios de aplicación.
2. Alta pureza: Los objetivos metálicos suelen tener una alta pureza para garantizar la calidad y el rendimiento de la película. Los objetivos metálicos de alta pureza pueden reducir el impacto de las impurezas en la película, haciendo que la película tenga mejores propiedades eléctricas y ópticas.
3. Tamaño y forma: Los objetivos metálicos suelen existir en forma de disco o rectangular con diámetros, espesores y dimensiones específicas. Estos tamaños y formas se pueden personalizar según el equipo de pulverización catódica específico y las necesidades para adaptarse a procesos de recubrimiento específicos.
4. Resistencia al calor: los objetivos metálicos generalmente necesitan tener una alta resistencia al calor para soportar el bombardeo de iones de alta energía y las altas temperaturas durante la pulverización catódica. El objetivo metálico resistente al calor puede mantener una pulverización estable durante mucho tiempo y prolongar la vida útil del objetivo.
5. Rendimiento del procesamiento: los objetivos metálicos suelen tener buenas propiedades de procesamiento y pueden procesarse como corte, recorte e instalación. De esta manera, se pueden preparar formas y tamaños de objetivos adecuados según las necesidades reales.