¿Qué tipos de líquidos de pulido existen en el país y en el extranjero? ¿Ámbito de aplicación?

En 1965, la empresa Monsanto de Estados Unidos patentó por primera vez en el mundo la aplicación de sol y gel de sílice en el pulido de obleas de silicio. Desde entonces, el líquido pulidor de semiconductores (lodo) se ha convertido en un material auxiliar indispensable e importante en la fabricación de semiconductores. El proceso de pulido de obleas de silicio semiconductor es un proceso de borde de interfaz entre los materiales y la preparación del dispositivo. Afecta en gran medida el rendimiento de los materiales y dispositivos y es responsable de eliminar el daño y la contaminación de la superficie previo al procesamiento y controlar las impurezas y los defectos secundarios inducidos. En condiciones específicas del equipo de pulido, el efecto de pulido de la oblea depende del agente de pulido y de la tecnología de su proceso de pulido. A medida que el nivel de integración de los circuitos integrados continúa aumentando, los requisitos correspondientes también aumentarán. No solo aumentará el diámetro, sino que también aumentarán los requisitos técnicos y seguirán surgiendo nuevos requisitos.

El fluido de pulido de sílice se utiliza en el proceso de pulido de obleas de silicio, actualmente utilizando tecnología de pulido mecánico químico (CMP). Hay pulido rugoso y pulido fino en el proceso de pulido, por lo que el líquido de pulido también tiene líquido de pulido rugoso y líquido de pulido fino. Se espera que entre 2005 y 2010, la demanda general de fluidos de pulido en la industria de obleas de pulido de semiconductores de mi país crezca a una tasa anual promedio del 25%. El uso total de fluidos de pulido SiO2 en 2004 fue de aproximadamente 157 toneladas. Entre ellos, hay alrededor de 126 toneladas de líquido de pulido basto y alrededor de 31,5 toneladas de líquido de pulido fino.

Actualmente, la mayoría de los fluidos de pulido utilizados en el proceso de pulido de obleas de silicio semiconductor en mi país son importados. Los fabricantes extranjeros con una alta participación de mercado de lodos para pulido de silicio semiconductor incluyen principalmente a American Rodelamp, American DUPONT y Japanese FUJIMI Company, etc. Aunque la industria de lodos para pulido de mi país se ha desarrollado con docenas de empresas, solo unas pocas empresas están realmente involucradas en la fabricación, la investigación y el desarrollo de lodos para pulido de obleas de silicio semiconductor. Ya sea en la calidad del producto o en la participación de mercado, las empresas nacionales muestran una brecha considerable con los fabricantes extranjeros.