Acerca de las bombas de vacío secas
La bomba de vacío mecánica seca sin aceite (también conocida como bomba mecánica seca) significa que la bomba puede comenzar a bombear aire desde la presión atmosférica y puede descargar el gas bombeado directamente a la atmósfera. La cavidad de la bomba. Es una bomba de vacío mecánica que utiliza aceite u otros medios de trabajo, y la presión máxima de la bomba es la misma o cercana a la de la bomba de vacío sellada con aceite.
En la actualidad, la mayoría de las bombas de vacío mecánicas utilizadas en la industria del vacío utilizan fluidos como aceite, agua u otros polímeros como medio de trabajo de la bomba, que desempeñan diversas funciones como refrigeración, sellado y lubricación en la bomba. Con el desarrollo de la ciencia y la tecnología y la expansión de los campos de aplicación del vacío, la bomba de vacío mecánica original y su sistema de bombeo se han encontrado con dos problemas urgentes: primero, el reflujo del medio de trabajo de la bomba contamina el recipiente bombeado y este reflujo en En muchos casos, el flujo afecta la calidad y cantidad de los productos y aumenta los costos de mantenimiento de los equipos. En segundo lugar, debido a las sustancias reactivas en algunos procesos, el medio en la bomba de vacío se deteriora seriamente, lo que hace que la bomba no pueda funcionar normalmente.
Para los sistemas de vacío sin aceite ordinarios, aunque se pueden usar bombas de vacío selladas con aceite y accesorios como trampas de frío o trampas de adsorción para evitar el reflujo, esto no puede resolver completamente el problema y complica el sistema. El efecto de uso ideal se puede lograr utilizando un tipo apropiado de bomba de vacío mecánica seca.
Las bombas de vacío mecánicas secas son ampliamente utilizadas, principalmente en los siguientes aspectos:
1) En el proceso de preparación del polisilicio en deposición química de vapor a baja presión;
2) Proceso de grabado de semiconductores. En estos procesos de producción se utilizan o generan a menudo gases corrosivos y partículas abrasivas.
3) Además de los procesos de semiconductores, algunos procesos que generan partículas no quieren que las partículas se mezclen con el aceite de la bomba, pero sí quieren que se mezclen con el aceite de la bomba. las partículas a descargar Además de la bomba, un cierto tipo de bomba de vacío mecánica seca puede cumplir con los requisitos
4) En la destilación, secado, desgasificación, envasado, etc. en la industria química; En la industria farmacéutica y en la industria alimentaria, se debe evitar que los disolventes orgánicos causen contaminación, es adecuado utilizar una bomba de vacío seca.
5) Se utiliza como bomba de respaldo para una bomba general sin aceite; Sistema de vacío limpio para evitar la contaminación por petróleo.