¿Qué es una máquina de fotolitografía?
Una máquina de fotolitografía es un dispositivo que utiliza una tecnología similar al revelado fotográfico para imprimir patrones finos en una máscara sobre una oblea de silicio mediante irradiación de luz.
La máquina de litografía (litografía), también conocida como: máquina de exposición de alineación de máscaras, sistema de exposición, sistema de litografía, etc., es el equipo principal para la fabricación de chips. Las máquinas de litografía generalmente se dividen en tres tipos según la dificultad de operación: manuales, semiautomáticas y completamente automáticas:
1. Manual: se refiere al método de ajuste de alineación, que se cambia ajustando manualmente el La alineación se logra utilizando los ángulos del eje X, el eje Y y Thita. Como puede imaginar, la precisión de la alineación no es alta.
2. Semiautomático: Significa que la alineación se puede ajustar a través del eje eléctrico según el posicionamiento del CCD.
3. Totalmente automático: se refiere a la carga y descarga del sustrato. El tiempo y el ciclo de exposición son controlados por el programa. La máquina de fotolitografía totalmente automática satisface principalmente la demanda de volumen de procesamiento de la fábrica.
Las marcas de máquinas de litografía se pueden clasificar en las siguientes categorías según las rutas técnicas adoptadas:
Las máquinas de litografía de proyección de alta gama se pueden dividir en máquinas de litografía de proyección escalonada y máquinas de litografía de proyección de escaneo. Hay dos tipos de máquinas de litografía, y sus resoluciones suelen estar entre siete nanómetros y varias micras. Las máquinas de litografía de alta gama se denominan los instrumentos más precisos del mundo. Las máquinas de litografía de alta gama se denominan las flores de la industria óptica moderna. Son difíciles de fabricar. Sólo unas pocas empresas en el mundo pueden fabricarlo.
Las principales marcas extranjeras son la holandesa ASML (lentes de Alemania), la japonesa Nikon (Intel adquirió una vez las máquinas de fotolitografía de alta gama de Nikon) y la japonesa Canon. SMEE, ubicada en Shanghai, China, desarrolló un proyecto de máquina de litografía de gama media con derechos de propiedad intelectual independientes, formó una línea de productos e inicialmente logró ventas nacionales y extranjeras.
Está en curso el desarrollo y producción de otras series de productos. Las máquinas de litografía de gama baja utilizadas en las líneas de producción y en I+D son máquinas de litografía de corto alcance y máquinas de litografía de contacto, con resoluciones generalmente superiores a unas pocas micras. Los principales son el SUSS alemán, el MYCRO NXQ4006 americano y las marcas chinas.