¿Cuáles son las características típicas de los sensores piezoresistivos?
Las características típicas de los sensores piezoresistivos son las siguientes:
1. El coeficiente de sensibilidad de los sensores piezoresistivos es 50-100 veces mayor que el de los sensores de presión con galgas extensométricas metálicas. A veces, la salida de un sensor piezorresistivo se puede medir directamente sin necesidad de un amplificador.
2. Debido a que se procesa utilizando tecnología de circuito integrado, su estructura es de tamaño pequeño y liviano.
3. La resolución de presión es alta, puede detectar micropresiones tan pequeñas como la presión arterial.
4. Buena respuesta de frecuencia, puede medir presión pulsante de decenas de kilohercios.
5. Dado que el elemento sensible a la fuerza y el elemento de detección del sensor se controlan en el mismo chip de silicio, funciona de manera confiable, tiene una alta precisión general y una larga vida útil.
6. Debido a que está hecho de silicio, un material semiconductor, el sensor es relativamente sensible a la temperatura. Si no se utiliza la compensación de temperatura, el error de temperatura será grande.
Introducción básica a los sensores de presión piezorresistivos:
Hay dos tipos de sensores piezorresistivos: uno consiste en utilizar la resistencia volumétrica de los materiales semiconductores para fabricar extensímetros adhesivos, llamados extensímetros semiconductores. por lo tanto, el sensor hecho de medidor de tensión se llama sensor de medidor de tensión semiconductor. El otro es una resistencia de difusión hecha sobre un sustrato de material semiconductor mediante un proceso de circuito integrado. El sensor con esta resistencia de difusión se llama sensor piezoresistivo de difusión.
Sensor extensímetro semiconductor La estructura del sensor extensímetro semiconductor es básicamente la misma que la del sensor extensímetro de resistencia. También se compone de tres partes que incluyen elementos sensibles elásticos. La rejilla del medidor de tensión está hecha de material semiconductor. En comparación con las galgas extensométricas metálicas, la ventaja más destacada de las galgas extensométricas de semiconductores es su pequeño tamaño y alta sensibilidad. Su coeficiente de sensibilidad es decenas o incluso cientos de veces mayor que este último y, en ocasiones, la señal de salida se puede medir y registrar directamente sin amplificación.