¿Qué significa algún código sobre fluidos en tuberías? Como LSW, GEX, Sykes, Vickers, AEX, PV.

Los sistemas de fábrica de semiconductores se pueden dividir en instrumentación y sistemas eléctricos (subestaciones de 69 KV y sistemas de subestaciones de 11,4 KV, sistemas de 480/277/120 V, sistemas de generador, sistemas de PC/CV, sistema de compresor de aire, sistema FMCS, sistema telefónico y sistema de control de acceso), ingeniería de sistemas (sistema de agua pura, sistema PCW, etc.). Sistema de agua caliente, tratamiento de gases de escape/sistema de escape), ingeniería de instalación (tuberías de suministro y drenaje de agua, tuberías de gas/escape, tuberías de vacío, cableado eléctrico, sistema de gestión del fabricante), servicios de fábrica (mantenimiento general de agua y electricidad, ingeniería civil y decoración). , paisajismo, mantenimiento preventivo TPM). El tratamiento de los gases de escape y el sistema de escape se describen a continuación.

En el entorno de producción de semiconductores, diferentes equipos producirán diferentes gases residuales químicos. Aunque algunos equipos tienen su propio equipo de tratamiento de gases de escape, no se puede evitar la falla del equipo de tratamiento. Además, en el proceso de producción de obleas se utiliza una gran cantidad de disolventes y productos químicos inflamables, que deben clasificarse y tratarse de forma eficaz para evitar el peligro causado por reacciones químicas secundarias en la tubería, reducir las emisiones de gases residuales y cumplir con los requisitos medioambientales. Por lo tanto, el sistema de tratamiento de emisiones de escape juega un papel muy importante.

El tubo de escape del sistema de tratamiento de gases de escape (AAS) se puede dividir en sistema de escape general (GEX), sistema de escape depurador (GEX), sistema de escape de amoníaco (AEX) y sistema de escape de VOC (VEX). .

Sistema General de Escape (GEX)

Durante el proceso de producción, la propia máquina genera calor, partículas y gases inofensivos. Sin embargo, considerando la carga de los dispositivos de filtración y aire acondicionado de la sala limpia y la comodidad de la temperatura del ambiente de producción, esta parte del gas residual se extrae mediante un molino de viento ordinario y se descarga a la atmósfera sin ningún tratamiento (Figura 1).

#F# Figura 1: Sistema de escape universal

Sistema de escape depurador (género)

En el proceso de producción de obleas, se utiliza equipo de proceso Una gran cantidad de productos químicos , la mayoría de los cuales cubren una gran cantidad de ácido, una pequeña cantidad de alcalinos y otras sustancias corrosivas. Si este gas químico residual se emite sin tratamiento, definitivamente tendrá un impacto grave en nuestro medio ambiente.

El equipo neutro es principalmente un depurador húmedo, que utiliza agua circulante alcalina (NaOH) para lavar el gas residual ácido descargado del proceso y utiliza el principio de neutralización ácido-base para neutralizar el gas residual, mientras Las sustancias químicas del gas residual se lavan y sedimentan, luego se descargan cuantitativamente a la planta de tratamiento de aguas residuales para su posterior tratamiento (Figura 2).

#F#Figura 2: Sistema de escape del depurador

Sistema de escape de amoníaco (AEX)

AEX (Figura 3) maneja principalmente amoníaco producido por equipos de proceso (NH3 ). El equipo de tratamiento en sí es principalmente un depurador húmedo, que utiliza agua circulante ácida (H2SO4) para lavar el gas residual de amoníaco contenido en las emisiones del proceso. La sustancia química NH3 en el gas residual se disuelve en el agua circulante después del lavado, y luego se disuelve en el agua circulante. El gas residual ingresa al proceso y se descarga del depurador. Las aguas residuales se descargan cuantitativamente a la planta de tratamiento de aguas residuales para su posterior tratamiento.

#F# Figura 3: Sistema de emisión de amoniaco

El gas de escape de amoniaco no ingresa directamente al tratamiento químico, sino el gas de escape de amoniaco (NH3) y los iones de cloro y fluoruro en el El químico (CL-, F-) reacciona para producir cristales de polvo de cloruro de amonio blanco o fluoruro de amonio (NH4CL, NH4F), que pueden causar bloqueo de tuberías, contaminación ambiental y opacidad de las emisiones de las chimeneas que no cumplen con los requisitos de las regulaciones ambientales.

Sistema de escape de compuestos orgánicos volátiles (VEX)

Los compuestos orgánicos volátiles, a diferencia de los ácidos y álcalis, son difíciles de tratar. Si se vierte directamente al ambiente atmosférico sin tratamiento, contaminará el aire y provocará el riesgo de reducir la calidad del aire. En términos generales, el sistema de tratamiento VEX se divide principalmente en dos partes: (1) el condensador ACT 690 solo se usa en algunos equipos (2) el tambor de zeolita;

Condensador ACT 690

La función principal es procesar primero los COV de alto punto de fusión y dejar que el corredor de zeolita posterior procese otros COV de bajo punto de fusión (Figura 4).

El condensador ACT 690 incluye:

●Filtro: Filtra las impurezas descargadas del equipo;

●Enfriador: Dispositivo que concentra y condensa compuestos orgánicos gaseosos mediante intercambio de calor. Algunos COV gaseosos de alto punto de fusión se condensan con agua helada de lombriz para facilitar su recolección y procesamiento.

●Intercambiador de calor: este intercambiador de calor es un dispositivo de ahorro de energía. Antes de que el gas de escape condensado de baja temperatura se condense en el enfriador, primero intercambia calor con el gas de escape de alta temperatura en la entrada;

●Absorbedor de carbón activado: El COV gaseoso concentrado de Act 690 tiene un olor fuerte, por lo que está equipado con un absorbente de carbón activado para eliminar parte del olor.

#f#Figura 4: Concentrador ACT 690