¿Es fácil de usar el medidor de flujo másico de gas? ¿Cuáles son sus ventajas y precauciones?

El medidor de flujo másico de gas MFM o el controlador de flujo másico de gas MFC se utiliza para medir/controlar el flujo másico de gas. Tiene las características de alta precisión, buena repetibilidad, amplio rango, estabilidad y confiabilidad. Es ampliamente utilizado en las industrias de semiconductores y circuitos integrados. , industria de materiales especiales, equipos de recubrimiento, fusión de fibra óptica, dispositivos de microrreacción, sistemas de mezcla y distribución de gases, muestreo de gases, medición capilar, cromatógrafo de gases y otros instrumentos analíticos en los campos petroquímico, farmacéutico, de vacío y otros.

MFM/MFC tiene las características de alta precisión, buena repetibilidad, respuesta rápida, arranque suave, estabilidad y confiabilidad, amplio rango de presión de trabajo y operación simple. Se puede instalar en cualquier posición y se puede utilizar con el totalizador de flujo de la serie D088 ​​para alimentar y mostrar o controlar el MFM/MFC. También se puede conectar a una computadora para lograr un control automático.

El medidor de flujo másico de gas mide el flujo másico del gas. El controlador de flujo másico mide el flujo másico del gas en lugar del flujo volumétrico, por lo que puede controlar con precisión el flujo de gas cuando cambia la presión del gas. .

El caudal másico de gas generalmente se expresa mediante el caudal volumétrico en condiciones estándar. La unidad de flujo másico es:

SCCM - mililitro/minuto estándar

.

L/min estándar

El estado estándar del gas es: 0 ℃, 101,325 KPa.

Debido a que en el estado estándar, la densidad del gas es constante y la densidad multiplicada por el caudal volumétrico es el caudal másico, por lo que el caudal volumétrico en el estado estándar es equivalente al caudal másico.

Cosas a tener en cuenta

Está prohibido el tráfico de medios

El gas utilizado debe estar purificado para evitar la contaminación de polvo, líquidos y aceites. Si es necesario, instale un filtro secador en la línea de gas. Si la salida del MFC o MFM está conectada a la botella de líquido original, se debe instalar una válvula unidireccional en la salida de flujo para evitar que el MFC o MFM se dañe debido al reflujo del líquido.

Uso de gases corrosivos

Los materiales del canal MFC o MFM son 0Cr17Ni14Mo2 (equivalente al acero inoxidable 316L), caucho flúor, etc. En condiciones de ausencia de vapor de agua, bajas fugas, limpieza frecuente y uso adecuado, puede medir gases corrosivos generales. Cuando se utiliza para amoníaco, vapor de disolventes orgánicos (como acetona) u otros gases altamente corrosivos (como BCL3, BBr3, etc.). ), especifíquelo al realizar el pedido para poder sustituir el material de sellado.

Problema de sellado de la válvula

La válvula solenoide de MFC es una válvula reguladora, no una válvula de cierre, por lo que no se puede utilizar como válvula de cierre. El usuario debe equiparla. otra válvula de cierre. Especialmente cuando se utilizan gases corrosivos, se deben instalar válvulas de cierre en la entrada y salida del MFC para garantizar la seguridad. Después de un funcionamiento prolongado, si la tasa de fuga del puerto de la válvula MFC está dentro del 2% FS, es normal. Si la fuga de aire supera el 2% de la escala total, se debe reparar.

Problemas de funcionamiento del control de la válvula

Después de operar la válvula para su limpieza, no se puede girar directamente a la posición de "control de válvula". Primero debe girar la válvula a la posición "apagado" y luego girarla a la posición "control de válvula".

Problemas sobre la ubicación de la instalación

Al instalar un medidor/controlador de flujo másico de gas, es mejor mantener la superficie de instalación horizontal, pero no es particularmente sensible a la posición y se puede instalar en cualquier posición. Si se encuentra una desviación del punto cero durante la instalación sin nivel, se puede ajustar antes de trabajar. Si el usuario indica el lugar de instalación al realizar el pedido, nuestra empresa puede calibrarlo antes de salir de fábrica.

Preste atención a la diferencia de presión de trabajo

Para MFC, se debe prestar especial atención a la presión del aire del medio de trabajo y a la diferencia de presión de trabajo entre la entrada y la salida del MFC debe mantenerse dentro del rango de medidas sintomáticas. Especialmente cuando se trabaja a alta presión, la diferencia de presión del aire es demasiado grande y el flujo no se cerrará ni reducirá. Cuando se utiliza MFC de alto flujo, se debe prestar atención a engrosar adecuadamente la tubería para reducir la resistencia interna de la fuente de aire. Si la diferencia de presión de trabajo es menor que el valor requerido, es posible que el caudal no alcance el valor de escala completa.